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2021-06-18






真空设备检漏

检漏就是用一定的手段将示漏物质加到被检设备或密封装置器壁的一侧,用仪器或某一方法在另一侧怀疑有泄漏的地方检测通过漏孔漏出的示漏物质,从而达到检测的目的。检漏的任务就是在制造、安装、调试过程中,判断漏与不漏、泄漏率的大小,找出漏孔的位置;氢气检漏法检测灵敏度高、节约成本、操作简便,将是以后检漏技术的发展趋势。在运转使用过程中监视系统可能发生的泄漏及其变化。

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真空设备检漏与维修

为什么要检漏

泄漏和密封相对应

很多情况下,我们需要密封住一定的空间,防止气体或液体在压力的作用下,流进或流出这个空间。如真空设备(真空镀膜机,液晶注入机,PVD,半导体外延等等),需要在真空条件下工作,要求在工作时,空气不能漏进工作腔体,否则生产不能进行,或者产生次品,浪费人力物力。另外装液体或气体的容器(液压气瓶,氧气瓶,空调冰箱中的雪种容器等等),要求在容器内外存在压差的情况下,不能有气体或液体漏出。如果有漏,后果严重,一般会造成有效物资的浪费,如有毒物资、腐蚀性气体漏出,甚至会酿成事故。基于其在处理环境中背景氢气浓度方面所拥有的独特技术,氢气检漏仪具有非常可靠的敏感度和测量指示。

这些对密封性有要求的产品或设备,在投入使用前,就要先进行检漏,使用中也要定期进行检漏检查。

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随着压力容器出口产品的增加及各制造企业对产品质量的重视,氦质谱检漏方法在我国的压力容器制造业中的应用也逐年递增。氦质谱检漏方法(以下简称氦检)以其高灵敏度和准确性而通常应用于整体防漏等级较高的压力容器上。氦检方法基本上可分为用氦气内部加压法和设备内部抽真空外部施氦这两种,由于后者需将设备完全抽成真空状态,往往会增加试验用设备(如高、低压真空泵、真空阀等)和设备工装(如外压加强圈)而使造价提高,所以该方法通常用于容积小而厚壁的设备;所有的氦气检漏仪器机构的离子收集板,对氦气都会产生记忆效应,即氦离子打到离子收集板上,并储存一定时间,然后再慢慢释放出来,从而造成本底的噪音等问题。对于大多数压力容器而言,通常优先选用前一种方法。

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如何判断真空系统是否存在漏气,通常采用静态升压法,即把容器抽到一定压强后,关闭阀门将被抽容器与泵隔开,若容器漏气或材料放气,容器中的压强将随时间而上升。用真空计每隔一定时间计量一次容器中的压强,可得出压强/时间曲线。设备应适用气密性检测、应具有大漏判定功能,微漏定量检漏功能,工件泄漏总的判定功能,并能满足连续生产的需求,具有较高的自动化程度,操作简便、安全、可靠。由于容器的漏气与出气情况不同,其曲线也不同

1.直线A

压强不随时间变化,说明系统即不漏气,也不放气。真空度上不去的原因是泵工作不良。

2.直线B

压强期初上升很快,而后上升速度渐渐减慢而趋于平衡,这说明容器没有漏气。真空度上不去的原因主要是放气的影响。因为放气速率随压强的升高和时间的延长而降低,故曲线渐趋向于平衡。

3.直线C

是一斜率为ΔP/Δt的直线。这说明只有漏气而没有放气。

4.曲线D

开始压强上升较快,而后渐渐减慢,后变成斜率为ΔP/Δt的直线。这说明容器即有放气也有漏气。曲线D可以认为是B和C的叠加。如果出现曲线C和D的情况,则判定系统有漏气。